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Toppan新技术可实现玻璃微流控芯片的低成本、大规模生产

发布时间:2021-10-18 浏览量:1765 来源:芯语
LCD制造技术成功应用于构建用于样品测试的玻璃微流控芯片原型。

Toppan微流控芯片原型
Toppan微流控芯片原型
 
据麦姆斯咨询报道,Toppan公司已开发出利用光刻工艺制造玻璃微流控芯片的技术。使用该技术可大规模生产微流控芯片,且有可能比当前使用注塑成型技术(包括将PDMS这种有机硅树脂注入金属模具中成型)制造的微流控芯片量产效率更高、成本更低。
 
光刻工艺是Toppan公司在电子行业领域60多年来不断打磨的一项基础技术,该技术用于LCD屏和半导体电路的精密加工。通过光刻工艺制造的微流控芯片,有望用于体外诊断和液体活检(一种仅需少量血液或其它液体样本的非侵入性诊断技术)领域,预计在癌症诊断和临床检测等方面将会有更高的应用需求。
 
近年来,液体活检越来越受欢迎,该检测通过血液或其它液体样本可更早发现癌症。使用PDMS通过注塑成型制造的微流控芯片,由于材料出色的生物相容性和光学分析的适用性而被广泛用于检测领域。然而,使用PDMS精密加工的低产出率以及液态硅胶作为原材料的高成本,抬高了微流控芯片的成本,阻碍了该技术更广泛的应用。
 
为了解决这一挑战,Toppan公司开发了一种微流控芯片的量产技术,该技术应用了基于LCD彩色滤色片制造过程中孕育出来的光刻工艺。
 
具体而言,在涂有光刻胶(感光材料)的玻璃基板上形成宽度为10微米至几毫米,深度为1微米至50微米的通道(允许液体或气体流动的凹槽或孔)。然后在固化的光刻胶上构建具有用于注入流体样品或样本的开口的封盖。
 
使用这种方法制造的微流控芯片具有等同或优于用PDMS芯片的特性,并且可以更低的成本进行大批量生产。
 
“我们应用Toppan先进的微纳制造技术,以实现微流控芯片的大规模生产,从而推动医学检测技术的广泛应用,减轻患者的负担。”Toppan公司电子事业部开发规划经理Yuichiro Abe表示,“我们将继续与合作伙伴一起进行玻璃微流控芯片商业化的试点测试,并希望在2022年3月之前建立基于光刻工艺的量产技术。”

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